宽禁带半导体材料与设备模拟计算方向1:碳化硅单晶生长过程计算碳化硅生长过程中热场,电磁场,流场以及化学反应的模拟计算;方向2:碳化硅外延生长过程计算碳化硅外延生长过程中流场、热场,外延生长速率及化学反应的模拟计算;方向3:碳化硅材料分子尺度计算( KMC, MD )碳化硅晶体生长过程中晶核分布和结晶方向等微观尺度模拟计算。
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